半导体晶圆片有无检测的三种解决方案

半导体晶圆片可以是透明晶圆片，也可以是反光的晶圆片，普通传感器要同时检测出这两种晶圆片具有一定的挑战性。   因此，使用能够可靠地检测这两种晶圆片的技术非常重要。 对于真空室中检测晶圆片， 传感器的安装也是一项挑战。  

幸运的是，邦纳公司提供几种解决方案，可用于可靠地检测真空室中的透明的和反光的晶圆片。本文介绍了可用于满足此应用要求的3种技术。 

1. 可以穿透玻璃实现双模检测的激光测距传感器

用于检测晶圆片的种传感器是一种能够穿透玻璃实现双模检测的激光测距传感器。  具有双模功能的传感器（如邦纳Q4X）不仅可检测距离的变化，还可以从稳定的背景中检测光线强度的变化。   这使得Q4X可以高度准确地检测具有挑战性的目标，如透明和反光的晶圆片。  

双模激光测距传感器不仅能检测被测物何时在一定距离内存在，而且还能检测目标何时将一定量的光线返回给接收器。 为使该传感器正常工作，必须示教一个稳定的参考表面，并记录参考表面的距离和光强度用作基准。

透明或反光晶圆片进入光束检测范围而改变基于背景条件的感应的距离和光线强度。  邦纳的Q4X传感器还能够透过玻璃窗检测而不受干扰。 

2. 透过窗玻璃的光电传感器

另一个检测具有挑战性的晶圆片的传感器是一种采用同轴光学设计的反射板式光电传感器。  具有透明物体检测功能的QS18 COD可沿同一个轴发射和接收光线。这将优化透明晶圆片的检测，显著降低反射光引起的误检风险。

此外，由于发射和接收的光线都会在一道窄光束上传输，这些传感器可以穿透一个小光缝，使它们可以透过玻璃窗在真空室应用。带有偏振滤光片的光电传感器会发射和检测特定偏振的光波，而忽略所有其他光波。这可以进一步降低反射光引起的误检风险。

详细了解用于检测透明物体的偏振同轴光学技术。 
3. 用于真空室的光纤

后，用于真空室的光纤解决方案也可用于检测透明或反光的晶圆片。  

使用光纤解决方案，光纤放大器安装在真空室的外面。  适用于真空中的玻璃光纤和特殊连接头安装在真空腔中可将光传导到真空腔中。

安装光纤，使其对准适用于真空的玻璃反射板，用于检测在光纤和反射板之间经过的玻璃和反光晶圆片。

此产品信息版权归上海维特锐所有，如想详细了解请点击：邦纳